本发明提供一种表面等离子体纳米
复合材料及其制备方法，包括基体材料，在基体材料表面溅射沉积金属钛薄膜，在金属钛薄膜表面溅射沉积
铝铜合金薄膜，采用四氯化碳气相刻蚀的方法去除铝
铜合金薄膜中的金属铝得到纳米多孔铜薄膜，在纳米多孔铜薄膜表面溅射沉积氮化钛薄膜，本发明提供了一种表面等离子体纳米复合材料及其制备方法，其目的在于克服现有技术中的成本高的缺陷，其制备方法简单、成本低、与硅气相工艺兼容。
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“表面等离子体纳米复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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