本发明涉及金属镀膜领域,尤其是一种连续真空等离子蒸发金属
复合材料生产线,具有真空室,真空室包括入口段、工艺段和出口段,工艺段依次包括进口锁段、加热预抽段、反溅射去污段、离子束活化段、等离子体复合段和出口锁段,进口锁段设置有进口真空锁,加热预抽段设置有加热系统和排气系统,反溅射去污段设置有反溅射去污系统,离子束活化段设置有离子束活化系统,等离子体复合段设置有真空蒸发离子复合系统、进气系统和排气系统,出口锁段设置有出口真空锁,真空蒸发离子复合系统设置有两个蒸发复合室。本发明的优点是降低了能耗,提高了复合的效率。
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来源：北方有色网
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