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在碳陶复合材料内部在线原位制备氧化硅晶须的方法

832   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:52:02
本发明具体涉及一种在碳陶复合材料内部在线原位制备氧化硅晶须的方法,主要解决了现有方法制备纳米二氧化硅所需的环境温度高、需要有加热过程、反应气体流量大、不适合在陶瓷基复合材料内部反应的问题。方法包括以下步骤:1)将碳化硅陶瓷基复合材料放入化学气相沉积炉内,炉内温度在900~1100℃;2)将制备碳化硅陶瓷基体的先驱体气体与空气的混合气体引入沉积炉内发生反应;3)陶瓷基复合材料内部在线原位形成氧化硅晶须。本发明方法所需环境温度低、反应气体流量小,可有效降低成本。
声明:
“在碳陶复合材料内部在线原位制备氧化硅晶须的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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