本发明提出了一种先驱体浸渍/裂解法制备碳/碳
复合材料PECVD舟的工艺，与传统石墨材质的承载框相比，碳/碳复合材料力学性能优于石墨，而且能够适应PECVD高温，高真空度，等离子体溅射等恶劣的镀膜环境，而采取CVI(化学气相沉积)工艺制备的碳/碳板材虽然力学性能更佳，使用寿命较长，但是由于工艺控制过程的复杂性导致制造成本较高。因此，本发明采用先驱体浸渍/裂解工艺制备碳/碳复合材料坯体以及SiC涂层，该工艺制备的承载框在满足PECVD工艺的前提下，有效地降低了承载框的制造成本。
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来源：北方有色网
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