本发明提供了一种微图案化碳?
碳纳米管复合材料电极微加工工艺，包括以下步骤：(1)对碳纳米管进行表面改性制得光刻胶?碳纳米管复合材料；(2)对光刻胶?碳纳米管复合材料进行紫外光刻等半导体微加工工艺，制得微图案化光刻胶?碳纳米管复合材料微结构；(3)最后将微图案化光刻胶?碳纳米管复合材料微结构经过热解碳化过程制得微图案化碳?碳纳米管复合材料电极。该工艺简单易操作，成本低，可应用于大规模生产，具有较好的机械性能、较高的化学稳定性、较优异的电导性和较好的
电化学性能。本发明所制得的微图案化碳?碳纳米管复合材料电极可作为电极应用于微型超级电容器。
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“微图案化碳-碳纳米管复合材料电极微加工工艺及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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