一种薄膜磁电
复合材料及其制备方法,属于磁性
功能材料及制备技术领域。磁电复合材料特征在于:由磁致伸缩薄膜层、导电薄膜层和压电陶瓷衬底复合而成。制备方法是在做好电极的压电衬底上采用物理气相沉积(PVD)技术沉积一层磁致伸缩薄膜。该磁电复合材料界面复合强度高、结构简单、有效避免了铁电铁磁两相间的相反应,具有良好的磁电转换系数,高频涡流损耗小、性能稳定、尺寸轻薄,非常适合制备微型传感器件。此外,该制备方法简单可行、成本低廉,克服了层叠磁电复合材料及传统薄膜磁电复合材料制备工艺复杂、成本高等缺点。
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来源：北方有色网
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