本发明涉及一种聚酰亚胺/氧化硅
复合材料的前 驱溶液的制备方法，及在基材上形成聚酰亚胺/氧化硅复合材料 薄膜的方法，其包含添加一种
硅烷化合物单体使聚酰胺酸带有 氧化硅基团，添加具有式 (R6) xSi(R7) (4－x)的单体使氧化硅基团带有可感光聚 合的不饱和基团，及添加式 R8N(R9) 2的单体使聚酰胺酸带有可 感光聚合的不饱和基团。其中， R6、 R7、 R8、 R9与x如说明书中所定义。本发 明还涉及一种聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液及聚酰亚 胺/氧化硅复合材料。本发明的复合材料可用于微电子与半导体 组件及光电组件。
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“聚酰亚胺/氧化硅复合材料的前驱溶液、其制法及制得的复合材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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