一种铁合金氮化物纳米巨磁阻抗薄膜材料及制备方法,属于
功能材料技术领域。所述材料为NIFE合金薄膜层和FEXN(X=AL、TI或TA)纳米晶软磁薄膜层彼此相间形成的多层薄膜体系。其中FEXN(X=AL、TI或TA)纳米晶软磁薄膜层的厚度小于其出现垂直各向异性的临界值;NIFE合金薄膜层一方面阻止FEXN薄膜的柱状生长,避免其垂直各向异性的形成,另一方面由于NIFE层的交换耦合作用,使整个多层薄膜体系具有取向良好的面内各向异性。由于整个多层薄膜体系的饱和磁化强度更大,从而可以获得比同样厚度的FEXN薄膜材料大得多的巨磁阻抗效应。本发明所述的铁合金氮化物纳米巨磁阻抗薄膜材料为制备具有巨磁阻抗效应的微传感器提供了一种性能更为优异的材料选择。
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来源：北方有色网
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