本发明公开了一种三维纳米通孔的制造方法，属于光刻技术领域，通过激光直写结合可调控空间结构光，能够直接制造直径＜100nm的三维纳米通孔，实现了一种纳米孔直径可控的三维纳米通孔制造方法。本发明制造方法过程简单，成本低廉，制造周期短，能实现纳米通孔的可控制造，可以为微纳流控、生物医学、仿生
功能材料等领域的研究提供有效解决方案。
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“三维纳米通孔的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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