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WO3包覆AZO粉体的制备及其烧结方法

942   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:04:01
一种AZO-WO3包覆粉末的制备及具烧结方法。本发明属于非金属元素及其化合物。本发明公开了一种新的工艺来制备WO3掺杂AZO靶材。本发明的优点在于用一种新的掺杂工艺来代替传统的球磨掺杂,得到充分混合、均匀掺杂的粉体。适用于微量(0.01-0.1at%)的WO3粉末掺杂,可制备出致密度超过99%,强度超过100MPa,电阻率小于5×10-4Ω·cm的掺杂AZO靶材,这种掺杂AZO靶材,可经济、高效的制成各种复杂形状。AZO透明导电薄膜性能稳定、制备简单、成本低廉等优势,在光电学性能平板显示领域得到了极其广泛的应用,是新一代透明导电膜,最有可能替代昂贵的ITO,在薄膜太阳能电池和low-E玻璃等领域,正显示出巨大的应用前景和市场,是一种被广泛研究的功能材料
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