一种纳米晶钛酸锶钡薄膜的制备方法,属于
功能材料技术领域,涉及纳米晶BST薄膜的制备方法。本发明对常规溶胶-凝胶方法制备BST薄膜过程的“冷却”和“晶化”步骤之间添加“预晶化”处理步骤。本发明可在大气环境下类外延生长纳米晶BST薄膜,所得薄膜光滑致密、无裂纹、无缩孔。本发明可大幅度提高纳米晶BST薄膜的综合介电调谐性能,所得纳米晶BST薄膜电容58～1840pF、介电调谐率大于20.0%、介电损耗小于3.0%、K因子大于15.0、介电强度高,频率特性和温度特性稳定。采用本发明所制备的纳米晶BST薄膜可以替代铁氧体和半导体用于制备微波调谐器件(如移相器),从而显著降低微波调谐器件的制造成本;另外,本发明所制备的纳米晶BST薄膜还可用于磁记录、热释电焦平面阵列等。
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来源：北方有色网
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