本发明公开了一种热驱动的MEMS被动式振动强化传热装置及传热方法。传热装置包括锚点、梳齿状骨架、
功能材料夹层、位移放大结构、位移转换结构、扰流器；锚点固定在热源面上；驱动部分包括梳齿状骨架和填充在各个梳齿之间的功能材料夹层，其前端连接着锚点；位移放大结构的前端连着驱动结构的底部；V型的位移转换结构两侧连接着左右两个对称设置的位移放大结构的末端；位移转换结构的底部连接着扰流器。本发明不需要人为地开关控制，也不需要额外的能量输入，仅利用热源中的废热实现驱动，实现自适应散热，并且结构工艺性好，响应速度快，可以为解决高热流密度器件的散热问题提供一条新的路径。
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来源：北方有色网
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