本发明提供了基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于
功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处；以及电源，所述电源的两端分别连接至所述目标基板、产生系统，使所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流后转印至所述目标基板；当停止对所述产生系统与目标基板施加电场后，液体尖峰阵列的泰勒锥立刻消失，停止喷射。通过泰勒锥射流的方式，可实现纳米至微米级图案的喷涂，并且图案的均一性不易受目标基板弯曲度的影响。
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来源：北方有色网
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