本发明涉及
真空泵技术领域,是一种小抽速无油涡旋真空泵,具有结构紧凑,体积小,极限压力低等特点,抽速为4L/s。本发明所述的转子涡旋盘为三点定位结构,依靠均布的三个曲柄轴部件使转子涡旋盘绕定子涡旋盘沿固定圆轨迹平动,完成抽气过程。所述的涡旋盘表面经硬质氧化处理并喷涂特氟隆。所述的密封垫片采用特氟隆材料。本发明是干式真空泵的一种,清洁度高,适用于半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业。
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“小抽速无油涡旋真空泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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