一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相对移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。
声明：
“薄膜形成装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1027
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
