本实用新型为高真空机组,涉及一种以油扩散泵为主泵的、使被抽空器件获得高真空的设备,与有关附件构成可进行真空蒸镀和溅射、真空热处理、真空烧结和扩散,还可应用在实验室及其它工业生产中。其特征是在高真空阀体上设有线圈,线圈内设有芯杆;手轮上设有销孔,芯杆的一端插接在手轮的销孔内;线圈通过导线与控制箱中的继电器连接。预抽阀和前置阀的拉杆连在一起形成联动的拉阀。在高真空阀体与拉阀的管路上设有电离真空规,在拉阀与放气阀的管路上设有预抽热偶真空规,在拉阀与真空缸的管路上设有前置热偶真空规。本实用新型的目的在于解决被抽真空器件漏气时机组不能工作,必须拆卸、进行清洗、更换扩散泵的工作介质等方面存在的问题。
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来源：北方有色网
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