本实用新型涉及真空冶金技术领域，尤其涉及一种用于制备功能薄膜用高纯金属铸锭的装置。结构包括坩埚，在所述坩埚外设有水冷套，在坩埚的上部设有感应加热装置；电子枪，所述电子枪设置在坩埚的上方，电子枪的发射口朝向坩埚内，在电子枪的一侧设有装有导辊的合金基料进料装置。通过设置电子枪来发射电子束对金属进行加热熔化，可以避免熔料过程中对金属的污染，同时可以用于活泼金属及难熔金属的制备。在水冷坩埚外设有的电磁感应加热装置对熔体进行加热、保温，既可以避免引入介质污染，又能通过涡流搅拌充分除杂、除气，有效控制铸锭杂质及气体含量，还避免了熔体受热不均及对坩埚及金属带来的冲击和挥发，节约了成本。
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来源：北方有色网
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