本实用新型涉及高真空油扩散泵，具体地说是一种五级金属直腔型高真空 油扩散泵。它包括泵体，设置在泵体内泵芯、油室和喷射嘴，位于泵体外面、 底部的加热器；泵体为直容腔；泵芯包括一级导流管及其一级喷嘴、二级导流 管及其二级喷嘴、三级导流管及其三级喷嘴、四级导流管及其四级喷嘴，二级 导流管、三级导流管和四级导流管与油室连接，一级导流管装在二级导流管的 上面；二级喷嘴、三级喷嘴和四级喷嘴的间隙为固定间隙。它结构简单，制作 容易，显著提高高真空油扩散泵的抽气速率、拓宽抽气范围，气密性高，焊接 变形小，提高工作效率；能获得10-2～10-6Pa高真空和超高真空环境。广泛用于 航空航天、原子能、真空冶金、热处理、镀膜、化工等领域。
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来源：北方有色网
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