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用于管状靶材的真空烧结系统

1028   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:57:02
本发明公开了一种用于管状靶材的真空烧结系统,第一压盖设置有第一模具,第二压盖设置有第二模具,第一模具与第二模具配合用于成型,第一保温壳与第二保温壳形成的加热腔内设置有加热装置;第一压盖设置在机架上,第二压盖固定连接在加压装置的输出端,加压装置固定连接在机架上;加压装置包括恒压装置和反馈装置,恒压装置用于提供稳定压力,反馈装置用于提供附加压力;通过反馈系统以位置为依据,当第一模具逐渐靠近第二模具时,反馈装置提供的附加压力逐渐变大,使素坯所受压力在烧结过程为逐渐变大,较小的初始力避免过早得出较大的晶粒,靶材烧结过程中各部位的累积受力的差异缩小,从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。
声明:
“用于管状靶材的真空烧结系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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