SP-50KT/SP-85KTC 温控型真空感应熔炼炉系列
应用范围：温控型感应加热/熔炼系统，带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内，而不影响主腔室的环境。
产品型号 ：SP-50KT/SP-85KTC
上架时间 ：2019-07-25
安装尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）
重量：100Kg
温控型感应加热/熔炼系统，带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内，而不影响主腔室的环境。
性能指标和基本配置
型号
SP-50KT
SP-85KTC
感应电源
● 工作电压：380V，50Hz，三相
● 空气开关：需要100A空气开关
● 最大输入功率: 15KW
● 输出频率:30-80kHz
● 保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护
温控系统和热电偶
● 精密数显温控系统，采用PID调节方式
● 可设置30段升降温程序
● 带有过热和断偶保护
● 控温精度：±5 ºC
● 热电偶: C 型热电偶 (Φ6.35x400mmL )
● 连续工作温度.: 1000ºC~1900ºC
● 最高温度：2000ºC（<30min）
● 升温速率:
1度/秒 1000-1200ºC；
1度/2秒 1200ºC-1500ºC ；
1度/4秒 1500ºC-2000ºC
● ·高纯石墨坩埚:50mm(内径) * 40mm(外径) *110mm（深）,坩埚是用来感应加热和熔化金属 ● 高纯石墨坩埚:114mm（内径） * 100mm（外径） *142mm（深），坩埚是用来感应加热和熔化金属
● 最大容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 ● 最大容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
● 可熔炼物料的质量：最多0.6Kg（按纯铁的密度计算） ● 可熔炼物料的质量：最多4Kg（按纯铁的密度计算）
● 可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，最大可放置晶片尺寸为1.5''O.D * 1/8''T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀
● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—
氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃） ● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）
● 注意: 石墨坩埚是易耗件
● 注意: 石墨坩埚是易耗件
密封法兰和石英腔体
● 两端开口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L)
两端开口的石英管尺寸： 216 mm(OD) * 208 mm(ID) * 500mm(L)
● 顶部法兰: 采用不锈钢铰链法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀
● 顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀
● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与
真空泵相连接
● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接
● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接
真空计
● 防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托
● 一个输出电压24v、1A直流电源适配器。适配器的输入电压是单相110~240v。
浮子流量计
紧凑型直读浮子流量计，100-1000scc/min。精度:4%。
泄压阀
为了安全考虑，在腔体内安装泄压阀，当压力大于0.02MPa时，阀门会自动释放压力，保证安全。
循环水冷机（选配）
● 温度范围：5～30℃
● 水流量：16L/min
● 水箱：不锈钢材质，容积为12L
注意：建议使用特定的冷却液以获得最佳性能。在几次加热试验后，等待几分钟冷却属于正常现象
真空泵（选配）
● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵
● 电压：AC 208-240V 50Hz,单相
● 最大功率：0.4KW
另有多种真空泵，详情请点击下图选择
产品尺寸
整体机器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）
净重
100Kg
应用
● PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚，使其能够成为生长长型
碳化硅晶体，请点击下面的图片或问我们的工程师如何
● 此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们
注意事项
● 为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM
● C型热电偶是耗材，不在我们的保修范围内
● 熔融时间和温度与材料、坩埚、耐火材料绝缘等有关。如果你不知道感应加热器是否能熔化你的样品，请联系我们的工程师咨询
● 感应熔融系统的设计是在真空和低压下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
● 必须在气缸上安装减压阀，将压力限制在3psi以下，以保证安全运行。
● 当出气口关闭，炉腔内存在正压状态时，不要加热炉子。在加热过程中，必须使用压力表来密切监测室内情况;一旦燃烧室压力超过3psi，请立即打开气体释放阀门，以防止不可预见的损坏
认证
如果客户需要通过MET认证，需自行支付认证费用，具体价格请联系我们的销售代表
认证标准包括:1感应加热器:UL61010-1 & UL499;2真空泵:UL1450;3冷水机组:UL61010 & UL1995
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