本实用新型涉及一种电子发射源的真空烧结装置,包括基座、设于基座上的烧结炉、覆盖该烧结炉的玻璃盖板、设于该基座并通过抽气阀与该烧结炉相通的低压产生模块、设于该烧结炉的低温产生模块、及设于该烧结炉内且邻近于该抽气阀的隔板。该玻璃盖板使该烧结炉内呈封闭区域,该低温产生模块包括红外线陶瓷加热板及可均匀散热的陶瓷薄板,陶瓷薄板设于该红外线陶瓷加热板上,且令场发射显示器的电子发射源层的玻璃基板贴附于该陶瓷薄板上;其中,该低温产生模块以一预定速率变化温度。上述真空烧结装置可提供直接热传导及渐进式增温,借以延长烧结装置的使用寿命、以及提高升温或减温速率、以提高生产效率。
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来源：北方有色网
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