本发明属于二次离子探针分析测试领域，具体涉及一种二次离子探针样品靶的制备方法，主要用于提高样品颗粒的平整度以及降低样品靶的放气率。样品靶主要有玻璃片，环氧树脂以及样品颗粒组成。所述方法以圆形玻璃片为主体，首先在玻璃片上切割出数条凹槽，然后将样品颗粒放入凹槽中，进而将环氧树脂注入凹槽中进行固化，固化完成将样品靶进行细磨，抛光。本发明优势主要有两点：1.由于环氧树脂只存在于玻璃的凹槽中，所以样品靶的放气率很低，有利于提高样品室的真空；2.由于玻璃与矿物颗粒（锆石，磷灰石等）的硬度相近，所以在抛光过程中有效保证了矿物颗粒，环氧树脂以及玻璃处于相同平面，有效提高矿物颗粒边缘的平整度。
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来源：北方有色网
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