本发明公开了一种超声波喷雾微波管式炉及运用，属于喷雾热解法制备氧化物薄膜与
粉末冶金领域。本发明所述的是一种超声波喷雾微波管式炉加热联合制备ITO薄膜与粉体的方法，其特征在于利用超声波将铟
锡前驱体盐溶液进行雾化，然后通过载气将雾化液滴送人微波横式加热管式炉中进行闪速热解反应，当雾滴接触到高温石英玻璃片时会形成的一层ITO薄膜。同时其他雾滴形成超细的、表面积大、分散性好、形貌好的ITO粉体。本发明工艺过程操作简单，成本低廉，合理的利用物料，与传统法喷雾法在高温玻璃片寸底相比减少了物料的浪费。创造了通过超声波喷雾热解法与微波管式加热炉联合同时制备ITO薄膜与粉体的可能。
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来源：北方有色网
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