本发明公开了一种高致密度高含量钼铌合金靶材的制备工艺，所述制备工艺的原材料由按质量百分比计量的以下组分组成：铌粉5％‑15％，余量为钼粉；称取所述铌粉的一部分，通过铌的氢化工艺制取得到二次氢化铌；所述二次氢化铌与所述原材料的质量比为0.1：100‑3：100，所述二次氢化铌呈粉末状，颗粒粒径D90≤50μm。本发明利用二次氢化铌的活化作用，并通过控制制取二次氢化铌的工艺参数，采用
粉末冶金工艺直接制备高致密度高含量钼铌合金溅射靶材。
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来源：北方有色网
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