本发明的各实施方式一般涉及用于垂直磁记录(PMR)应用的磁记录介质的种子层的沉积,其中种子层提供晶粒大小细化和为随后沉积的底层或颗粒磁性层提供降低的晶格失配,并且其中使用
镍(NI)合金基溅射靶沉积种子层。镍(NI)合金可以是二元(NI-X;NI-Y)或三元(NI-X-Y)。另外,二元(NI-X;NI-Y)或三元(NI-X-Y)镍(NI)基合金可以进一步与金属氧化物形成合金,从而形成具有颗粒微结构的种子层薄膜,该颗粒微结构含有由富氧晶界包围的金属晶粒。各示例性实施方式的镍基合金(具有或不具有金属氧化物)可以通过
粉末冶金技术或通过熔铸技术制备,其采用或不采用热-机械加工。
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“作为用于垂直磁记录的溅射靶的具有或不具有氧化物的NI-X、NI-Y和NI-X-Y合金” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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