本发明公开了一种掺杂的氮化
铝钪靶材及其制备方法和应用，将氮化铝粉末、氮化钪粉末和R源粉末混合，获得混合料，混匀料制坯、均温处理获得坯料，坯料后处理，即得氮化铝钪靶材，所述R源粉末中的R选自选自除钪以外的16种
稀土元素中的一种；所述混匀料中，R的原子百分比为0.01～10％；所述R源选自金属R或选自金属R和R的氮化物粉末。所述制备方法，通过在原料中引入稀土和/或稀土氮化物，采用
粉末冶金成型的方法，利用稀土和稀土氮化物的协调变形作用，有利于氮化铝钪在高温状态下变形和致密化，最终实现制备得到高致密化的氮化铝钪靶材。氮化铝钪靶材作为溅射靶材制备压电薄膜，成膜质量高，薄膜性能稳定。
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来源：北方有色网
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