本发明公开了采用联合法制取二氯二氢硅的方法。该法是在歧化法基础上增加四氯化硅氢化作用工序，使副产物充分利用，在氯氢化作用反应器中，在氢气和四氯
硅烷的存在下，氢气和四氯硅烷的摩尔比为1：1-4冶金级硅发生氯氢化反应。反应后的气流中含有二氯二氢硅、三氯硅烷、四氯硅烷、氢气及未反应的硅颗粒，经冷凝和精馏进行分离。分离后的四氯硅烷和氢气再循环使用。通过催化剂固定床得到三氯硅烷被歧化成二氯二氢硅和四氯硅烷，歧化后的气流送到相应的精馏单元进行分离和纯化。
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来源：北方有色网
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