一种制备氮化钛复合陶瓷的工艺属于金属材料表面冶金改性技术的范畴。其特征在于是,在真空容器内,将欲渗金属源极以金属钛丝的形式插入到平板或圆桶中且钛丝与钛丝间隔8-15mm,长度为10-50mm,置于距离被渗金属工件10-28mm处,首先将氩气通入到真空容器中,在低电压作用下将欲渗金属钛丝以钛的离子、原子的形式高密度溅射出来,吸附在被轰击加热到一定温度的工件表面上,形成一定厚度的钛的渗镀扩散层。然后通入一定混合比的氩气和氮气(或氨气)在钛被溅射和扩散的同时使氮与钛元素在工件表面产生化学反应,形成TiN的晶核并长大,其TiN合金层和扩散层厚度高达10μm以上,钛和氮的成分也由高到低向内呈梯度分布,使表面TiN合金层和基体有良好的结合强度。
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来源：北方有色网
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