一种用于合成三氯
硅烷的流化床反应器，其包含反应器、旋风分离器、旁通线路、旁通阀以及分离器。反应器具有内部空间使冶金级硅与进料气体在其中进行反应，经由氢氯化反应以及直接氯化反应而产生三氯硅烷气体。旋风分离器用于收集自冶金级硅微粒化并在反应器的内部空间增加的微细颗粒。旁通线路连接至反应器，用于将微细颗粒排出到反应器的外部。旁通阀设置于旁通线路中。分离器连接至旁通阀用于将微细颗粒自反应器排出的排出气体分离与处理。
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来源：北方有色网
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