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具有改进的尖端轮廓的晶体管及其制造方法

1094   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:46:01
实施例是改进的晶体管结构及该结构的制造方法。具体地,实施例的湿法蚀刻形成具有改进的尖端形状的源和漏区,以通过改进短沟道效应的控制、增加饱和电流、改进冶金栅长度的控制、增加载流子迁移率并减小源和漏及硅化物之间的界面处的接触电阻来改进晶体管的性能。
声明:
“具有改进的尖端轮廓的晶体管及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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