本发明公开了一种制备Ti
5Si
3高温合金膜的方法，属于冶金技术领域，其工艺步骤为：(1)采用无水氯化钙为熔盐电解质，二氧化硅以及二氧化钛为原料，氧化钙为助溶剂，形成电沉积系统；(2)以石墨片作为阴极，石墨棒作为阳极，在850℃恒电流/恒电压条件下电沉积制备Ti
5Si
3高温合金膜；(3)本发明可通过周期性加入二氧化硅以及二氧化钛原料，实现连续制备厚度可调的Ti
5Si
3高温合金膜。本发明可在较低温度(850℃)条件下，实现直接制备超高熔点高温合金致密膜/镀层，同时可通过改变电流密度、电沉积时间等参数来实现对薄膜厚度及微观形貌的控制。本发明方法具有流程短、能耗低等特点。
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来源：北方有色网
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