本发明提供一种磁控管阴极用磁控线圈原料粉末及其制备方法,属于
粉末冶金制造领域。本发明粉末为以下材料制成:质量分数为96.37～98.68mt%蓝钨WO2.9粉末,质量分数为1.32～3.63mt%硝酸钍蓝钨WO2.9粉末和硝酸钍溶液。本发明的制造方法包括粉末制备、掺杂、还原等步骤。本发明利用蓝钨WO2.9颗粒具有多孔“蜂窝状”结构,吸附能力强、表面活性好等特性,使硝酸钍与蓝钨WO2.9掺杂更加均匀。将掺杂后的粉末进行干燥还原。还原在还原炉中进行,采用H2气氛及温度等工艺控制,得出适合粉末冶金成型的混合均匀的钍钨粉末。
声明：
“磁控管阴极用磁控线圈原料粉末及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
934
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
