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一种用于提供CMP系统中的制程控制的系统和方法,其使用用于修整晶片研磨垫的真空辅助设备,从而来自修整制程的流出物(即晶片碎屑、研磨浆、化学或其它副产物)从废流中转移开,而引入分析模块,进行进一步的处理。所述分析模块用于确定所述流出物内的至少一个参数,且基于分析来产生制程控制信号。所述制程控制信号然后反馈到平面化制程,以允许多种参数例如研磨浆的成分、温度、流速等的控制。所述控制信号还可用于控制制程和/或确定所述平面化制程自身的终点。
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本发明涉及电化学反应装置和有价物质制造系统。提供抑制生成气体中的CO2气体浓度的变动、提高对于变动性电源等的鲁棒性的电化学反应装置。实施方式的电化学反应装置(1)具备：电化学反应单元(8)，其具有用于容纳二氧化碳的第一容纳部(2)、用于容纳包含水的电解液或水蒸气的第二容纳部(3)、在第一容纳部(2)与第二容纳部(3)之间设置的隔膜(4)、配置于第一容纳部(2)的还原电极(6)、和配置于第二容纳部(3)的氧化电极(7)；检测电化学反应单元(8)的反应量的检测部(10)；调节供给至第一容纳部(2)的二氧化碳的量的调节部(11)；和基于检测部(10)的检测信号来控制调节部(11)的控制部。
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本发明涉及使用电化学传感器(1)的蛋白质的电流检测,特别是粪便中的血红蛋白。该电化学传感器包括:具有导电基质的工作电极(2a,2b),所述导电基质含有第一试剂和/或第二试剂,所述第二试剂是第一试剂的氧化剂或其前体;对电极(4)和可选的参比电极(3);其中所述第一试剂与氧化剂的反应是可通过蛋白质催化的,以在所述工作电极提供可检测信号。所述导电基质是含有导电的碳或石墨的基质或多孔导电基质;第一试剂优选为3,3’,5,5’-四甲基联苯胺(CAS?RN=54827-17-7),而第二试剂是过氧化氢,或者是诸如过氧化脲(CAS?RN=124-43-6),过硼酸钠的前体。还要求了用于测试粪便的试剂盒,包括传感器,以及制备工作电极的方法。
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本公开的前提是：本公开的发明人出乎意料地观察到，附着有基于石墨烯‑聚吡咯的纳米复合材料的电极能显著改进电极的电导率，这进而能显著改进电化学装置的检测限(LOD)，使得样品中的生物靶标的定量检测能达到0.5fg/mL之多。因此，本公开的一个方面涉及用于电化学装置的改进的电极，该电化学装置能够检测样品中的生物靶标，其中电极表面的至少一部分附着有基于石墨烯‑聚吡咯的复合材料，且其中该基于石墨烯‑聚吡咯的复合材料附着有至少一个生物靶向部分。本公开的一些方面还提供了本发明的有利电极的制造方法、包括该有利电极的电化学装置以及检测生物靶标的方法。
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一种化学液体注射装置(100),其中在安装于注射控制单元(101)上的较大且分辨率高的主触摸面板(104)上,输入并显示有关正常注射的各种数据,从而可以准确地实行有关正常注射的复杂输入操作和数据显示。由于可以在安装于注射头(110)上的较小且分辨率低的副触摸面板(118)上输入并显示关于测试注射的各种数据,所以,在单独一个操作者在注射头(110)附近监视延长管(230)的同时,可以容易地实现有关测试注射的输入操作和数据检查。于是,可以提供一种能够使单独操作者容易且安全地实行测试注射的化学液体注射装置(100)。
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本发明涉及一种电子集成电路,所述电子集成电路包括固定于衬底(3)上的电子芯片(1),其组件受外壳保护,所述电子芯片设置有与布置在所述衬底上的连接焊盘(6)连接的输入/输出接线柱(2),其中所述电路还设置有至少一个侵入检测装置(9、10),所述至少一个侵入检测装置(9、10)能够检测所述外壳内部的机械和/或化学侵入和/或接近所述集成电路的敏感区的尝试,其特征在于,所述侵入检测装置(9、10)包括检测电路(9),所述检测电路(9)被嵌入在衬底(3)中和/或放置在衬底(3)上并且被布置成在所述集成电路的一些敏感区紧邻的附近经过,从而对接近任何所述敏感区的任何尝试都造成所述检测电路(9)的电状态(闭合/断开)的变化。
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一种研磨垫轮廓的控制系统,适于包括研磨垫、研磨台、研磨头以及调节器的一化学机械研磨装置,其中研磨垫包含一透光区。而这种控制系统包括至少一光源、一检测器以及一处理器。而光源设置于研磨台中,且对应于研磨垫的透光区。检测器则位于研磨垫上方,以检测通过研磨垫的透光区的光源所发出的光。处理器根据检测器所检测的结果,来估算研磨垫的厚度,以判定研磨垫的轮廓状况,进而发出一处理讯号至调节器,借以调整调节器的处理程序。由于本发明能在线控制研磨垫轮廓,所以可降低关于晶圆内不均匀度的变量而获致平坦的研磨垫轮廓。
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本发明揭露一种检测试片及其制造方法、检测装置，检测试片用以检测检体中生化成分的含量，其包括绝缘基板；电极层，设置于绝缘基板上，电极层包括互不相连的阳极及阴极部分，阳极部分的两端形成工作电极及阳极接头，阴极部分的两端分别形成参考电极及阴极接头；反应层位于电极层上，与检体接触产生化学反应，反应层覆盖工作及参考电极，并与其个别互相连接；及放大电路，形成于绝缘基板上，且放大电路电性耦接于工作电极与阳极接头之间，用以放大工作电极输出的由化学反应产生的电子信号。本发明可提高检测试片前端的信号杂讯比，省略检测装置的信号处理装置的放大电路，以达到简化检测装置的信号处理装置的系统架构和整体成本。
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一种生物相容性医疗装置可以包含电化学传感器，所述电化学传感器包含：公共参比电极；至少一个对电极；以及工作电极平台，所述工作电极平台包括多个相应工作电极，每个相应工作电极电耦接到所述公共参比电极并且包括相应试剂底物，所述相应试剂底物被配置成与相应分析物反应以产生指示所述相应分析物的浓度的相应信号；以及处理电路系统，所述处理电路系统操作性地耦接到所述电化学传感器并且被配置成：从所述电化学传感器接收来自所述多个相应工作电极的多个信号；标识与相应所选工作电极相对应的相应信号；并且处理经过标识的信号以确定与所述相应所选工作电极相关联的所述相应分析物的浓度。
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本发明提供了一种用于制备化合物或产物的方法，所述化合物或产物具有满足或超出用户规范的一个或多个特征，所述工艺流程包括选择化学输入的第一组合的步骤，可选地和物理输入一起，并将那些输入供应给反应空间，从而生成第一产物；分析所生成的产物的一个或多个特征；将所述一个或多个特征与用户规范对比；使用遗传算法选择化学输入的第二组合，可选地与物理输入一起，其中所述第二组合不同于第一组合，并将那些输入供应给反应空间，从而生成第二产物；分析所生成的第二产物的一个或多个特征；将所生成的一个或多个特征与所述用户规范对比；对于化学和/或物理输入的进一步的单独组合重复选择和分析步骤，以提供产物阵列，其中，所述流动化学系统连续操作以提供第一、第二和进一步的产物，从而确定满足或超出用户规范的一种或多种产物。
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一种用于处理基板的装置包括：壳体，具有处理基板的处理空间；支撑单元，在处理空间中支撑基板；喷嘴，将化学物质分配到基板上；化学物质供应单元，将化学物质供应到喷嘴；以及控制器，控制化学物质供应单元。化学物质供应单元包括：罐，具有储存化学物质的内部空间；传感器，检测储存在罐中的化学物质的剩余量；入口管线，将化学物质从化学物质供应源供应到罐；出口管线，将化学物质从罐供应到喷嘴；以及排放管线，排出罐中的化学物质。在化学物质保留在罐中的状态下，当由传感器检测到的剩余量达到第一预设量或更少时，控制器控制化学物质供应单元将新的化学物质从化学物质供应源供应到罐。
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公开了一种在化学机械抛光处理中用于端点触发的发明。在具有端点检测部件的抛光带下方布置传感器阵列,其中该端点检测部件可以是一个端点窗口、抛光带中的孔、或抛光带的透明部分。然后在CMP处理过程中转动抛光带,并根据传感器阵列被抛光带特定部分覆盖的部分确定端点检测部件的横向位置。抛光带的特定部分可以是端点窗口、触发缝隙、或抛光带被反射材料覆盖的部分。该传感器阵列可以选择充电耦合装置(CCD)或传感器的线性阵列。在操作中,根据哪些传感器被抛光带的特定部分覆盖来确定位置信息。然后该位置信息被传递到带操纵系统,该带操纵系统根据哪些传感器被抛光带的特定部分覆盖来修正端点窗口的横向位置。
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本发明公开了用于热控制光刻化学工艺的系统、装置和方法。热控制系统包括包含多个热传感器元件的多区带热感应单元。这些热元件被配置用于检测衬底上多个预定义区带的温度。该系统还包括包含多个热耦元件的多区带热调整单元,这些热耦元件被配置用于调整预定义区带的温度。该系统还包括可操作地并且可通信地耦合到多区带热感应单元和多区带热调整单元的热控制器单元。热控制器单元接收来自多区带热感应单元的检测温度,处理所检测的温度信息,基于经处理的温度信息生成温度控制信息,并将温度控制信息传输到多区带热调整单元以调整预定义区带的温度。
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一种半导体晶圆处理及分析装置(20)包括一在其内紧密接收半导体晶圆(27)的处理微腔室(22)。可打开该腔室供装载与移除半导体晶圆,且接着将其关闭用于晶圆的处理,其中将化学试剂及其它流体引入该腔室。将小间隙提供于上表面、下表面与晶圆的周边边缘及处理腔室的对应部分之间。提供高速收集系统以自腔室收集及移除用过的试剂及流体用于在线或离线分析或用于废物处理。
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一种电化学电极试片及其制造方法,利用具有氧化还原活性物质与检体中特定待测物质发生专一性生化或化学的氧化还原反应而产生电子转移,配合感测器装置检测出待测物浓度的电化学电极试片,电极试片至少包括传递专一性生化或化学的氧化还原反应中所产生的电子转移效应的电极部分、反应膜层、位于生物反应层上方的检体承载空间以及上盖保护板。其中该检体承载空间具有三个开口。
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提供用于跟踪包装在整个运送过程中所暴露的包括异味在内的所有化学品的系统和方法。装置附接至所述包装或置于所述包装内，以将周围环境中的化学品提取到所述装置。所述装置可提取并浓缩所述装置和相应包装在整个所述运送过程中所暴露的挥发性化学品、半挥发性化学品和非挥发性化学品。然后可将所提取的化学品从所述装置中解吸并且通过分析仪器方法进行分析。
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本发明涉及使用非接触式化学传感器的用于对象识别的方法和设备。提供了使用非接触式化学传感器识别对象的组分的方法和设备。该方法包括基于由多个传感器提供的信息检测对象，从非接触式化学传感器在所检测的对象处传输化学检测信号，基于化学检测信号的衰减识别所检测的对象的组分；基于所检测的对象的所识别的组分确定是否需要改变路径，并且如果需要改变路径则控制一个或多个致动器以停止车辆或调整车辆的路径。
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当氧化还原活性参考试剂处于恒定化学环境中，但是与被分析的溶液以使得保持与样品电接触的方式分离时，基于氧化还原试剂的内部校准pH和其他分析物传感器提供了更准确的结果。当用作参考材料与被分析的样品之间的盐桥时，室温离子液体(RTIL)可用于实现这些结果。RTIL提供给氧化还原活性材料(RAM)恒定化学环境和离子强度，并且提供了限制或消除与样品直接化学相互作用的电解质层。广泛范围的RAM可以各种结构用于这类“分析物不敏感电极”装置中。
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本发明提供一种能够可靠地防止送液错误或空送,能够实现高可靠性的送液及送液自动化的化学反应用装置。通过输送溶液X、Y而进行溶液X、Y的化学反应的化学反应用装置(100)具有:反应盒(3),其在基板(1)和重叠设置于基板上的弹性体(2)之间,具有收容溶液X、Y的多个室(21～25)、及连结多个室(21～25)的流路(26A、26B、27A、27B);多个滑块(41～43),其相对于反应盒相互独立地自由移动,通过一边与弹性体的表面接触一边移动,向弹性体施加外力,使位于流路或室内的溶液X、Y封止或移动;以及检测传感器(71、72),其检测位于流路或室内的溶液积存的状态。
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一种基于CMOS的芯片，具有多个感测模态，所述多个模态能够独立地检测存在于样本中的多种代谢物(例如，胆固醇和葡萄糖)。具体地，所述芯片提供能够在相同物理测试体积内执行检测的多个感测模态，即，所述芯片可以同时地检测在所述测试体积中发生的多个化学反应，其中每个化学反应产生可独立地检测的结果。所述芯片可以包括光学传感器(例如，光电二极管)和化学传感器(例如，pH传感器，体现为ISFET)。通过这种技术，可以使用小型即时装置实时地测量多种代谢物。
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本发明涉及内毒素的检测方法和检测装置。[课题]通过电化学测量来检测内毒素。[解决手段]内毒素的检测装置(15)检测被检测液(例如透析液)中的内毒素的含有情况，具体地按如下方法进行检测。首先，使被检测液与吸附内毒素的吸附材料(17)接触，使吸附材料(17)吸附内毒素。然后，使碱性溶液与所述吸附材料(17)接触，以解吸内毒素。对含有该解吸了的内毒素的碱性溶液进行电化学测量。[效果]通过电化学测量能够高灵敏度且廉价地检测内毒素。
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本发明提供了一种化学机械抛光垫，其包括：抛光层；以及结合至所述化学机械抛光垫中的终点检测窗口，其中所述终点检测窗口是塞入性窗口；其中所述终点检测窗口包含以下成分的反应产物，所述成分包含窗口预聚物以及窗口固化剂体系，所述窗口固化剂体系包含至少5重量％的窗口双官能的固化剂、至少5重量％的窗口胺引发的多元醇固化剂以及25-90重量％窗口高分子量多元醇固化剂。
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本发明提供在样品对生物传感器施加时被动地和自动地检测样品存在(“样品检测阶段”),立即在样品检测后确定样品检测时间和然后开始样品的目标特性如一种或多种分析物浓度的测量(“测量阶段”)的方法和系统。本发明方法和系统不采用或包括用于进行样品检测阶段目的的、从外部来源的电信号对电化学测定池的施加,因此较不复杂和包括较少的步骤和组件。
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各种实施例涉及一种化学品传感器。化学品传感器可包括基板，基板包括第一密封(或隔离)腔以及与第一密封(或隔离)腔分开的第二密封(或隔离)腔。化学品传感器也可包括在第一密封(或隔离)腔中的发射器，发射器配置为发射红外光。化学品传感器还可包括在第二密封(或隔离)腔中的检测器。化学品传感器也可包括波导，波导配置为将红外光从发射器输送到检测器。波导可包括传感部分，传感部分配置为使通过传感部分输送的红外光的特性响应于与传感部分接触的化学实体而改变。检测器可配置为检测(红外光的)特性上的改变。
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提供了一种用于半导体晶片的化学机械抛光(CMP)设备的装载装置。所述装载装置包括:装载杯,具有杯状盆缸;杯板,安装在盆缸中;装载板,支撑在杯板上以能够吸收震动并安置晶片;驱动装置和驱动杆,在抛光装置的平台和轴之间水平旋转并垂直移动装载杯;臂,连接在装载杯和驱动杆之间。在盆缸、杯板和装载杯的装载板的一个或多个相互对应的位置处形成至少一个通孔。在处于对应装载杯的位置的每个通孔中插入并安装至少一个探头组合件,该探头组合件用于光学检测在晶片上的抛光点的抛光厚度。在驱动装置的一侧设置光学厚度检测装置,该光学厚度检测装置能够将光施加到在晶片上的层上以检测反射光谱波长,并以通过从所检测的反射光谱波长之间的光谱干涉信号提取的物理量变化来检测晶片的层厚度。在臂中设置将每个探头组合件和厚度检测装置连接的光纤电缆。因此,在对先放入的晶片执行抛光处理后和在对后续放入的晶片执行抛光处理前,或在对同一先放入的晶片执行后续抛光处理前,可以通过安装在用于单步或多步抛光处理的CMP设备中的至少一个装载装置来测量晶片上的层的厚度,从而更快地传输并反映对后续晶片的抛光有用的信息,提高晶片抛光精度并简化CMP设备的结构。
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本发明涉及一种适用于通过电化学传感器阵列分析至少一种试样的设备(1)，且所述设备包括：至少一个上层(2)；设置在上层上的至少一个入口开口(3)和至少一个出口开口(4)；至少一个下层(6)，其上具有至少一个凹部(5)；与在下层(6)上的凹部(5)匹配的至少一个两侧粘性膜(7)；借助于所述粘性膜(7)紧固到下层(6)的至少一个传感器阵列(14)，且所述传感器阵列由下述构成：在至少一个板(13)上定位至少一个工作电极(8)、至少一个参考电极(9)、至少一个反电极(10)、至少一个连通通道(11)、提供工作电极(8)和连通通道(11)之间的连接的至少一根导线(12)；与连通通道(11)关联的至少一个测量装置；至少一个另外的两侧粘性膜(7a)，其与定位在下层(6)上的粘性膜(7)隔开且使得传感器阵列(14)能够紧固到上层(2)；以及至少一个流动通道(15)，其由于所述粘性膜(7，7a)之间的空间形成、且与定位在上层(2)上的入口开口(3)和出口开口(4)关联以用于携载试样。
提出一种用于在化学计量或者化学计量过程的框架下对用于测量物质(4)的光谱分量的光谱仪进行校正的系统以及方法,所述方法利用了用于测量所要检验的物质(4)光谱分量的光谱仪装置(1)以及具有校正单元(2),借助该校正单元(2)基于所测得的光谱测量数据对光谱仪装置和/或者测量数据实施校正,其特征在于如下步骤:a)测量所要检验的物质(4)光谱分量X的总体和/或者所属的物质浓度;b)将所测得的光谱分量X的总体作为光谱测量的测量数据以多维系数向量的形式储存在存储模块(3)内;c)从所测得的光谱分量X的总体中通过寄存在校正单元(2)内自动运行的迭代估计法自动提取对于各自的测量过程在物理上有关联的光谱分量Xrel;d)基于在光谱测量数据的步骤c)中提取的对于所检验的物质(4)在物理上有关联的光谱分量Xrel,校正所检验的物质(4)的所测得的光谱测量的测量数据。
提供了氧化还原试剂组合物以及含有所述组合物的生物传感器，所述组合物含有含金属配合物和硫堇或其衍生物作为电子传递介质，所述组合物用于电化学生物传感器。随着含有含金属配合物和硫堇或其衍生物的氧化还原试剂组合物中氧化还原酶硫堇(或其衍生物)-含金属配合物之间反应速率的增加，葡萄糖检测效率显著提高，并且所述组合物几乎不受高湿度和干扰物质的影响。因此，所述氧化还原试剂组合物可用于制作用于检测血液中葡萄糖的电化学生物传感器。
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