本发明提供了一种化学机械抛光垫，其包括：抛光层；以及结合至所述化学机械抛光垫中的终点检测窗口，其中所述终点检测窗口是塞入性窗口；其中所述终点检测窗口包含以下成分的反应产物，所述成分包含窗口预聚物以及窗口固化剂体系，所述窗口固化剂体系包含至少5重量％的窗口双官能的固化剂、至少5重量％的窗口胺引发的多元醇固化剂以及25-90重量％窗口高分子量多元醇固化剂。
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“具有抛光层和窗口的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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