金刚石气相沉积炉
产品简介：
该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜，沉积的金刚石厚膜直径达Φ280mm，涂层面积达(330×300)mm2，膜沉积速率为(4-20)μm/h
1.生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等.
2.在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。
设备特点：
1. 采用高压拉瓦尔喷头，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
2. 采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
3. 设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。
4. 配带偏压电源，有效提高沉积速度；
2299 
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