真空气相沉积炉
产品简介：
真空气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料， 也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。
装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。
设备特点：
1. 多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
2. 采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
3. 设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。
4. 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
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