MicroXAM800白光干涉仪
简介
MicroXAM-800是用于3D表面形貌和粗糙度测量的非接触式的光学轮廓仪。MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪，采用相位扫描干涉技术（PSI）对纳米级特征进行测量，以及采用垂直扫描干涉技术（VSI）对亚微米至毫米级特征进行测量。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMARTAcquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。MicroXAM-800的程序设置简单灵活，可以进行单次扫描或多点自动测量。
MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。
二、功能
主要功能
台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
形貌：3D翘曲和形状
边缘滚降：3D边缘轮廓测量
缺陷复检：3D缺陷表面形貌
技术特点
针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量；
SMARTAcquire简化了采集模式并采用已知佳的程序设置的测量范围输入；
Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面；
XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描；
使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性；
利用已知佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法。
技术能力
Z向分辨率：0.2nm（PSI）
RMS重复性：0.1nm
台阶重复性：0.1nm或1%台阶高度
三、应用
半导体和化合物半导体
LED：发光二较为管
电力设备
MEMS：微电子机械系统
数据存储
医疗设备
精密表面
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