多功能离子束研磨仪 Leica EM RES102
Leica EM RES102多功能离子束研磨仪是一款全自动多功能离子束研磨系统，适用于透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）样品的制备。它能够进行离子减薄、离子束抛光、离子刻蚀、样品离子清洗以及斜坡切割等多种操作。离子束能量范围为1keV至10keV，配备两把离子枪，可分别倾斜±45°，样品台倾斜角度为-120°至210°，离子束加工角度为0°至90°。样品平面摆动角度小于360°，垂直摆动距离为±5mm。该设备可容纳最大样品尺寸为直径25mm、高度12mm，提供多种样品台选择，包括TEM样品台（Ø3.0mm或Ø2.3mm）、FIB样品清洗台、SEM样品台、斜坡切割样品台（35°或90°斜坡切割）以及相应的冷冻样品台。采用全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间小于1分钟。设备全电脑控制，配备触摸屏操作界面和内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程。
*全自动多功能离子束研磨系统，可进行离子减薄（用于TEM)；离子束抛光，离子刻蚀，样品离子清洗及斜坡切割（用于SEM)等
*离子束能令1keV 10keV,2把离子枪可分别±45°倾斜，样品台倾斜角度-120°至210°，离子束加工角度0°至90°
*样品平面摆动角度<360°，垂直摆动距离±5mm
*可容纳zei大样品尺寸：直径25mm，高度12mm
*可选配样品台：TEM样品台（Ø3.0mm或Ø2.3mm），FIB样品清洗台，SEM样品台，斜坡切割样品台（对样品35°或90°斜坡切割）及相应冷冻样品台
*全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间<1分钟
*全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程
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