一种改进型风载荷压力传感器包含传感器壳体、充油敏感体和信号调理电路,充油敏感体由呈凹槽的敏感体壳体、硅集成敏感
芯片和密封固定于凹槽口的弹性隔离膜组成,硅集成敏感芯片背压面环周通过固支环密封固定于凹槽底,硅集成敏感芯片背压面通过背压导气管与外界气压连通,硅集成敏感芯片受压面具有惠斯通电桥,惠斯通电桥上应变电阻通过内引线和引线柱引入到信号调理电路后输出,硅集成敏感芯片非受压面设有感温传感器、加热电阻及根据感温传感器控制加热电阻的恒温控制电路,弹性隔离膜、凹槽内环面和硅集成敏感芯片受压面之间填充有硅油,本发明可以控制充油敏感体温度,消除充油微压传感器受环境温度影响而失效问题,实现风载荷的高精度测量。
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来源：北方有色网
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