本发明公开了一种定点平面TEM样品制备方法，包括：步骤1：对TEM样品的目标进行定位；步骤2：研磨所述TEM样品，使所述TEM样品的边缘距离目标5～15um；步骤3：切割上述TEM样品的截面；步骤4：将上述TEM样品放入聚焦离子束中进行平面制样。本发明通过结合研磨、截面切割、FIB平面制样的方法，大大提高了TEM定点平面制备的成功率，同时也极大地提高了平面TEM样品的质量，对失效分析、结构分析等提供了极大的帮助。
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来源：北方有色网
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