本发明提供了一种获取高清晰聚焦离子束加工截面图像的方法,该方法包括以下步骤:A、将需要进行分析的样品置于聚焦离子束仪中进行截面切抛加工,得到样品截面;B、将样品从聚焦离子束仪中取出,使用腐蚀液对样品进行截面腐蚀;C、将样品截面进行冲洗和吹干;D、将样品放入场发射电子显微镜中,找到截面后倾斜30°～45°,进行截面的二次电子像观察,获得高清晰的聚焦离子束截面样品图像。本发明有如下优点:本发明方法能够有效、高质量地获得高清晰的聚焦离子束截面样品图像,为失效分析提供结构截面分界清楚的截面形貌信息。
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来源：北方有色网
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