本发明公开了一种振动式单框架微控制力矩陀螺,属于利用科氏效应的制导或控制装置领域。该机构由单一的结构层和支撑结构层的玻璃基底构成。结构层中,转子由弧形梳齿驱动,并通过支撑梁连接到框架上;框架由玻璃基底上的电极驱动,并将运动传递给转子;最终梳齿和框架的运动通过科氏效应产生输出力矩。该发明的有益效果是:1)结构层上的梳齿和外框电位可以实现分别控制;2)结构简单,转子和框架处于同一层,加工工艺较简单;3)采用折叠梁结构实现大位移驱动,减小结构的非线性效应,同时降低了驱动电压;4)在结构设计时分析推导了驱动用电极和结构层之间的尺寸关系,以避免“静电吸合”现象的产生,防止结构失效。
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来源：北方有色网
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