本发明涉及一种多弧离子镀真空电弧自动引弧方法及装置,该方法可以在镀膜开始,进行自动引弧;在镀膜过程中,电弧熄灭或有熄灭的趋势时,由反馈环节检测电弧工作电压并反馈至引弧信号控制单元,由其作出比较并及时发出自动引弧信号,从而保证薄膜沉积过程的顺利进行,消除由于电弧熄灭而造成的反应气体气压的波动而造成的对薄膜成分、结构、色彩影响的不利因素;本发明的装置是采用反馈单元检测电弧工作状态并将其作为识别信号用于控制单元作出判断是否发出引弧信号;该装置采用电触发引弧代替机械引弧;避免了使用引弧棒(丝)等机械方式引弧造成的污染、也可以避免引弧丝与阴极粘连所造成的失效问题。
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来源：北方有色网
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