本发明公开了一种防止探针卡烧针的方法，在对样品进行失效分析的测试过程中，进行如下步骤：第1步，对样品进行开短路测量；第2步，进行电源短路预测量，判断电源短路预测量的失效情况；第3步，进行电源短路测量，并判断电源短路测量的失效情况；第4步，进行上电功能测试。本发明所述的防止探针卡烧针的方法，在常规的失效分析方法中，增加电源短路预测量以及电源短路测量步骤，将有短路特征的
芯片首先筛选出来，后续测试避开这些短路的芯片，能有效防止探针卡烧针。
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来源：北方有色网
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