一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器,属接触式MEMS开关器件测试技术领域,该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极,在该开关正常,即第一、二接触点间有开关动作时,计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数,直至该开关疲劳失效,即第一、二接触点间无开关动作时,计数器停止计数,显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标,该仪器由方波发生器10、脉冲幅度转换器20、测试架30、开关动作监视器40、二输入端与门50、七位十进计数器及显示器60、指示器70和电源80组成,有线路抗干扰性能好,结构简单,元器件通用,测试效率高,每测试一个开关,时间仅为2～3min等优点,本发明特别适于用来测试接触式MEMS开关的寿命。
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来源：北方有色网
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