一种电迁移测试装置、电迁移测试系统及其测试方法，其中电迁移测试装置包括：用于实现与所述待测结构的电连接的连接金属层；用于向所述待测结构施加测试电压的加载电极；用于获得所述待测结构在测试条件下感测电压的感测电极；用于对所述待测结构进行加热的加热器件。本发明通过独立的加热器件使所述待测结构的温度达到所述测试条件，从而使温度对所述待测结构的电迁移的影响与电流对所述待测结构电迁移的影响分开，能够提高所获得的所述待测结构的激活能和电流密度指数的准确性，进而提高所获得的所述待测结构在工作情况下失效时间的准确性，有效提高电迁移测试的准确性。
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来源：北方有色网
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