本发明涉及一种磁悬浮分子泵径向保护轴承检测装置及方法，其中装置包括：模拟转子，由绝缘材料制备，装入磁悬浮分子泵中，其转动时能带动径向保护轴承内圈转动；导电部件，与所述径向保护轴承内圈连接；电容表包括两个接线端子，其中第一接线端子与所述导电部件连接，第二接线端子与所述泵体连接；所述电容表测量所述径向保护轴承内圈与所述泵体之间的电容值。通过本发明提供的装置测量径向保护轴承内圈和泵体之间的电容变化情况即可以有效获得保护轴承的当前状态信息，避免保护轴承失效造成的恶性事故。本发明提出的磁悬浮分子泵检测方法，检测效率高、成本低，可以有效的避免由于保护轴承失效引起的恶性事故及相关经济损失。
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来源：北方有色网
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