现有的半导体工艺中，由于马达设置在密封腔内，因而针对某些马达被锁定误判为性能失效的情况，通常需打开密封腔以进行检测，上述打开密封腔需中断制程，耗时且麻烦。针对上述问题，本发明提出一种马达的检测装置及检测马达性能的方法，在现有的马达驱动电路基础上，再设置一套与马达相连的检测电路，以备马达在某一位置临时被锁定而非马达自身性能失效后，不打开密封腔，采用额外设置的检测电路对马达进行驱动。
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来源：北方有色网
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