三维原子探针
这台三维原子探针（APT、3DAP）是目前具有最高3D空间分辨率的分析技术，主要用于研究纳米尺度的微结构（如析出相、团簇、GP区）以及界面上元素的偏聚行为，能够以原子级别的分辨率给出金属、半导体、陶瓷、地质和生物等材料内部的三维成分分布。设备参数包括分析仓真空度约10⁻¹¹ Torr，样品台最低温度25 K，空间分辨率0.1 nm，最高脉冲频率500 kHz，激光能量范围1-1000 pJ。功能配置包括电压脉冲和激光脉冲工作模式、真空低温传输模块、高频发生器、数据处理工作站系统以及实时初步三维重构功能，能够满足高精度的三维成分分析需求。
主要用途
三维原子探针（APT、3DAP）是目前具有最高3D空间分辨率的分析技术，擅长研究纳米尺度的微结构（析出相、团簇、GP区）以及界面上元素的偏聚行为，可对金属、半导体、陶瓷、地质和生物等材料以原子级别的分辨率给出材料内部的三维成分分布。
项目介绍
设备参数/指标
l 分析仓真空度：~10-11 Torr
l 样品台最低温度：25 K
l 空间分辨率：0.1 nm
l 最高脉冲频率：500 kHz
l 激光能量：1-1000 pJ
功能配置
l 电压脉冲和激光脉冲工作模式
l 真空低温传输模块
l 高频发生器
l 数据处理工作站系统
l 实时初步三维重构
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