本发明公开一种设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法，本发明的方法是先取得一物体的一设计布局，再于设计布局上划分出至少一布局区域，其中布局区域内具有一布局图案，接着取得多个缺陷，并按照尺寸的大小顺序将多个缺陷逐个与布局图案的一预定部分进行比对，然后根据比对结果判断布局区域的失效风险等级。本发明能快速且准确地预测在线随机缺陷及系统缺陷等是否会在物体上造成错误并影响到物体的良率。
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来源：北方有色网
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